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碳化硅制品因具有低热膨胀系数、高导热系数、高硬度、良好的热稳定性和化学稳定性等优点,在高温结构陶瓷中占有重要一席之地。开发出多种碳化硅制品的烧结技术,包括反应烧结、无压固相烧结、无压液相烧结、热压烧结和重结晶烧结等。
无压烧结被认为是SiC烧结最有前途的烧结方法,该方法可适配多种成型工艺,生产成本较低,不受形状尺寸的限制,是最常见、最容易实现批量操作的烧结方式。无压烧结工艺主要分为固相烧结和液相烧结两种。固相烧结碳化硅制品物化性能稳定,高温强度不变;液相烧结能降低烧结温度,提高强度和韧性。添加剂可提高无压烧结碳化硅制品的致密程度、降低烧结温度、改善材料的机械性能,但也可能引入气孔。
反应烧结碳化硅具有烧结温度低、成本低、近净尺寸成型的特点。其不足之处是坯体前期制备工艺复杂,以及存在副产物污染。反应烧结碳化硅制品材料的使用温度范围受到材料中的游离Si含量影响,当温度在1400°C以上,该材料的强度会随着游离Si的熔化而迅速下降。
热压烧结是一种材料在高温和高压的条件下同时进行烧结和成型的烧结工艺。热压烧结能在较低的烧结温度,较短的烧结时间,得到晶粒细小、相对密度高和力学性能良好的碳化硅制品产品。
重结晶烧结是制备超高纯度、大型碳化硅制品器件最常用的方法。R-SiC在高温下形成,硬度仅次于金刚石,保留了SiC的高温强度高、耐腐蚀性强、抗氧化性优、抗热震性好等特性。
渗硅工艺最适合工业化生产SiC,其优点是烧结时间短,烧结温度低,可达到全致密,烧结不变形。由于硅的渗透,碳化硅制品气密性好;硅的掺杂也使其具有更低的电阻,利于消除静电。其制备工艺有利于生产大型、复杂形状的零件或中空结构。http://www.guitanbang.net.cn/
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