针对硅碳棒表面瑕疵数据采集需求，设计了硅碳棒瑕疵自动化自主采集装置，提出了多相机的检测方法，并针对硅碳棒表面补光问题，提出了结构光补光方法，用Tracepro光学仿真软件对方案进行了实验，验证了补光方法的可行性。进一步解决了硅碳棒瑕疵数据采集装置的缺失的问题，采集装置充分结合现场设备及工艺条件进行设计，为收集硅碳棒瑕疵数据集提供保障，硅碳棒瑕疵数据均来源于生产过程中的实际检测结果，具有可靠性.同时该装置也为开发硅碳棒瑕疵检测系统打下基础，为实现硅片全自动化生产奠定基础。

硅碳棒瑕疵数据集制作

        在上一章节，根据实际生产现场的工艺及设备条件自主设计了硅碳棒数据硅碳棒瑕疵采集装置，在本章将根据数据采集装置所采集到的硅碳棒瑕疵图片，完成检侧所需要的硅碳棒表面硅碳棒瑕疵数据图片的收集。对硅碳棒瑕疵硅碳棒数据采集依据以及硅碳棒瑕疵数据分类的标准进行确定，通过硅碳棒瑕疵采集装置进行原始图像获取。后根据分类标准制作硅碳棒瑕疵数据集，用于模型训练提取硅碳棒瑕疵特征。

硅碳棒瑕疵数据采集标准确定

        在制作硅碳棒瑕疵数据集时，第一步是确定需要收集叮些数据，因此需要先确定硅碳棒瑕疵数据采集的依据标准。对于硅碳棒存在硅碳棒瑕疵的标准，根据实际工业生产现场，工作人员在生产过程中对硅碳棒的判别的结果为采集信号进行采集，具体来说就是，经过专业的工作人员判定为存在硅碳棒瑕疵的硅碳棒，硅棒硅碳棒瑕疵采集系统进行数据的采集，而经过专业人员判断为合格的硅碳棒，数据采集系统不再进行采集。通过这样的方式进行采集，因为专业的工作人员具有丰富的评判经验，一方面，该过程是在实际生产过程中进行的，也就是结合生产流程进行的采集，可以保证数据的准确性，减少后期数据筛选工作量;另一方面，是实际生产环境下采集到的图片为实际生产检测标准。

        为硅碳棒瑕疵数据采集装置依据流程，采集装置渗透的专业检测人员的判别经验知识，能够让所采集数据质量更高，也更贴合于实际的检侧要求，数据也具有可靠性。

        可以看出，所采集的硅碳棒瑕疵数据来源于实际生产现场，所有数据根据人工检测结果进行分类收集，对所研究的系统而言，数据具有可靠性，也更符合实际工业应用环境。通过该方法，可以将人工检侧经验进一步转换为检测系统检测知识，使硅碳棒瑕疵检测模拟人工进行检测，使得检侧结果更为准确。http://www.guitanbang.net.cn/

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