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研究多晶硅还原炉的辐射散热对降低还原过程电耗的重要意义。对60对和84对异形硅碳棒多晶硅还原炉中异形硅碳棒径向热辐射的角系数进行了计算,并对不同异形硅碳棒直径的径向热辐射功率、径向热辐射单位能耗进行了分析。结果表明还原炉径向热辐射角系数和径向热辐射单位能耗随着异形硅碳棒数量和直径增加而减小,相对40对异形硅碳棒还原炉,节能效果明显。
研究多晶硅还原炉的辐射散热对降低还原过程的电耗有重要意义。曾在文献中,对4对、12对、24对和40对异形硅碳棒的多晶硅还原炉径向热辐射的角系数进行了计算和分析,认为异形硅碳棒数量越多,角系数越小,能耗越低。但角系数减小的幅度也会变小,认为角系数与异形硅碳棒数量之间应有一极限值。近年来,随着多晶硅还原炉设备向多对异形硅碳棒大型化方向发展,还原炉内安装的硅芯数量越来越多,对多对异形硅碳棒大型化还原炉的径向热辐射研究需求也越来越迫切。本文在前文的方法和基础上,优化了计算程序,对60对异形硅碳棒和84对异形硅碳棒多晶硅还原炉内径向热辐射的角系数进行了计算,结果和方法可以在大型化多晶硅还原炉的设计时作为参考。
60对异形硅碳棒和84对异形硅碳棒多晶硅还原炉内异形硅碳棒布置示意。
60对和84对异形硅碳棒按同心圆布置,从内到外分别为第1,第2和5(6)层。根据对称性,以整体的1/2几何模型进行计算,在相同直径时,各层的异形硅碳棒具有同样的角系数。
为减小误差,在程序设计时,将每根异形硅碳棒中心辐射出的热射线扫掠角从原1。
60对和84对异形硅碳棒角系数不同直径时,60对和84对异形硅碳棒还原炉各层和总角系数,其中总角系数是以各层角系数与各层异形硅碳棒加权平均所得。
从可见,60对和84对异形硅碳棒各层和总角系数随着直径增加而减小,第1层最小,最外层最大,总角系数介于第4(5)层和最外层之间。
另外,通过程序计算,当异形硅碳棒直径为cp160mm时,第2层角系数均已为0,但第1层角系数却有0. 013和0. 011,即使异形硅碳棒达cp180mm时,第1层仍然不为通过几何分析。可见,当异形硅碳棒直径为cp180mm时,第一层异形硅碳棒仍有热辐射到达还原炉筒内壁上,与程序计算相符。http://www.guitanbang.net.cn/
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