为了掌握振动时效处理原生多晶硅碳棒后的残余应力释放情况，委托山东某公司使用该公司振动时效设备对原生多晶硅碳棒进行了振动时效处理，使用钻孔应变法测量了振动时效前后硅碳棒的残余应力的大小。具体为:在硅碳棒表面均匀的选取10个点，采用盲孔法对硅碳棒进行检测。检测前在经过抛光处理的硅碳棒表面用502胶把应变计粘贴在上面，应变计的6条导线有序的连接在应力检测仪器上，然后对应变计进行调平，调平后的应变计可以进行打孔检测数据，应力应变检测系统打孔直径1.5 mm,深度1.51.8 mm、钻孔后测得三个方向应变值。硅碳棒振动时效处理前其残余应力均值为130.61 MPa处理后均值为84.37 MPa，应力消除率为35.40%。将振动时效处理后的硅碳棒使用九江某公司线切割机切割，硅碳棒出现断裂情况，无法实现切割。

热时效处理原生多晶硅碳棒

        为了掌握热时效处理原生多晶硅碳棒后的残余应力释放情况，委托沈阳某公司使用真空石墨炉对原生多晶硅碳棒进行了热时效处理，并按照上述方法检测了热时效处理前后硅碳棒残余应力。硅碳棒热时效处理采用如图2三种工艺。采用盲孔法对不同工艺下热时效处理前后硅碳棒残余应力进行检测，其结果如表2所示。使用线切割机切割热时效处理后的硅碳棒，从切割情况来看，采用工艺a和b处理的硅碳棒在切割时均发生了断裂，部分切割完成的硅芯也存在大量的裂纹。采用工艺c处理的硅碳棒切割的硅芯无裂纹，切割过程也未出现过硅碳棒断裂的情况。

        硅碳棒在未处理前内部存在较强的残余应力，且应力分布的整体均匀性较差，是导致硅碳棒在切割时破裂的主要原因。

        原生多晶硅碳棒因在生长过程中受温度、进料等因素影响其内部往往存在较大的残余应力，无法直接进行切割。

        振动时效对原生多晶硅内残留应力的消除率较低，利用该方法处理硅碳棒后，硅碳棒仍产生断裂。

        热时效对原生多晶硅内残留应力的消除率较高，且其消除比随着处理温度的升高而升高。

        硅芯通过一端磨锥、一端钻孔的形式或者焊接的形式连接后便能达到使用的长度，并且也满足还原炉的运行要求。http://www.guitanbang.net.cn/

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